美国OLYMPUS AL120晶圆搬送机由爱仪器仪表网代理,本产品是操作方便,非常适合于前道到后道工程的晶圆检查的晶圆搬送机,现在热卖中,如需购买,可通过ai1718.com的客服热线联系我们!
产品简介:
•AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,可以安全高效搬送薄片晶圆
•非常适合于前道到后道工程的晶圆检查
•适应范围广、搭配灵活
•高度实用性
•进一步优化的宏观检查
•操作便捷
•高度可靠性
•优先考虑晶圆和操作者的安全
•坚固、耐用的显微镜底座
•人机工程学设计的载物台
•电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定,可以优化各物镜的照明和对比度
•如果特别订制,AL120还可以应用到其他型号的显微镜上
产品特点:
•对应多种尺寸组合
•有200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种型号
•对应薄片制造厂家的需求,AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆
•宏观检查手臂可以360゜旋转,更为容易发现伤痕和微尘
•利用360゜旋转功能,完全可以目视检查整个晶圆(包括边缘)
•在表面宏观检查中,使用操纵杆可随意将晶圆*大倾斜30゜进行观察
•为了满足各种常规检查的要求,AL120可以登记多达10个检查程序
•使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度
•快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序
•晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示
•使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT,便于操作者再次确认
•AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口/平面,可以减少晶圆和设备之间的接触,提高晶圆的清洁度
•为了能够安全的安装晶圆,采用了在装置正面放置片盒的设计
•在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测,同时,在环境保护方面遵守了RoHS指令
•AL120搭载奥林巴斯MX晶圆检查显微镜系列,通过各种观测方法
•实现了*的图像分辨率和清晰度
•手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率,标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
•可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台,进一步将检查过程自动化
•只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置
产品简介:
•AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,可以安全高效搬送薄片晶圆
•非常适合于前道到后道工程的晶圆检查
•适应范围广、搭配灵活
•高度实用性
•进一步优化的宏观检查
•操作便捷
•高度可靠性
•优先考虑晶圆和操作者的安全
•坚固、耐用的显微镜底座
•人机工程学设计的载物台
•电动物镜转换器和孔径光阑相互锁定,可以优化各物镜的照明和对比度
•如果特别订制,AL120还可以应用到其他型号的显微镜上
产品特点:
•对应多种尺寸组合
•有200 mm专用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(对应小于150 mm的晶圆)的3种型号
•对应薄片制造厂家的需求,AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆
•宏观检查手臂可以360゜旋转,更为容易发现伤痕和微尘
•利用360゜旋转功能,完全可以目视检查整个晶圆(包括边缘)
•在表面宏观检查中,使用操纵杆可随意将晶圆*大倾斜30゜进行观察
•为了满足各种常规检查的要求,AL120可以登记多达10个检查程序
•使用这一功能可以记录特定的卡盒、晶圆和传输速度
•快速菜单选择按钮则可以让操作员立刻切换不同程序
•晶圆搬送机的菜单设置和设置参数都会在新型的LCD显示器上显示
•使用RECALL按钮可以显示检查时登记的有缺陷的对应SLOT,便于操作者再次确认
•AL120使用非接触光学定位、查找和对齐缺口/平面,可以减少晶圆和设备之间的接触,提高晶圆的清洁度
•为了能够安全的安装晶圆,采用了在装置正面放置片盒的设计
•在安全性和人机工学上通过了SEMI S2/S8检测,同时,在环境保护方面遵守了RoHS指令
•AL120搭载奥林巴斯MX晶圆检查显微镜系列,通过各种观测方法
•实现了*的图像分辨率和清晰度
•手动快速释放真空载物台可以提高操作员的舒适度和工作效率,标准功能为XY轴控制和晶圆旋转功能。
•可通过操纵杆或预编程的程序控制电动载物台,进一步将检查过程自动化
•只需一键便可驱动载物台返回或离开load/unload位置及原点位置
型号 | 200 mm专用型 | 200 mm/150 mm 兼用型 | 150 mm型 | |||||
AL120- LMB8- 90 | AL120-LMB86- 180 | AL120-L86-180 | AL120- LMB86 | AL120- L86 | AL120-LMB6-50 | AL120- L6-150 | ||
晶圆尺寸(SEMI规格) | 200mm | 200mm / 150mm | 150mm / 125mm / 100mm | |||||
晶圆*小厚度 | 90µm | 180µm | 400µm | 150µm | ||||
片盒类型* | SEMI规格:25(26)个slot | |||||||
片盒数 | 1 | |||||||
检查模式 | 全部检查/抽样检查 | |||||||
搬运顺序 | 微观检查(显微镜检查) | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ |
表面宏观检查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
背面宏观检查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
二次背面宏观检查 | ○ | ○ | ○ | ○ | ||||
晶圆定位(每 90º) | 非接触(定位平边/V型槽) | 非接触(定位平边) | ||||||
适配显微镜型号 | 奥林巴斯半导体检查显微镜 MX61 | |||||||
尺寸(mm) |
主机部分:640 (W) × 620 (D) × 378 (H) 配备显微镜时:1100 (W) × 620 (D) × 378 (H) |
主机部分:570 (W) × 620 (D) × 400 (H) 配备显微镜时:980 (W) × 620 (D) × 400 (H) |
||||||
重量(kg)(仅主机部分) | 44 | 44 | 41 | 44 | 41 | 40 | 37 | |
使用环境(电源/真空) | AC100 V~120 V、1 A或AC220 V~240 V、0.5 A 50/60 Hz、-67~-80 kPa、20 Liter/min以上 |
我们是这样为您服务的
-
1、技术沟通,初步判断问题
电话与客户进行初步沟通、了解并初步判断仪器
所出现的故障问题。 -
2、签订维修协议
由我公司向客户发送仪器维修协议,客户需如实
填写内容并回传以便我司对仪器做进一步判断。 -
3、客户邮寄仪器
客户可按照我司地址邮寄仪器,并将快递单拍、
照发送至您的专属客服进行备案。 -
4、详细诊断机器故障
我司收到邮寄仪器后会对邮寄的仪器进行拍照、
并开箱检验,对仪器做进一步故障判断。 -
5、支付维修费用
如客户仪器在保修期内,我司不收取任何维修费,
如客户仪器在保修期外,我司会适当收取维修费。 -
6、邮寄仪器给客户
我司将维修好的仪器按客户地址进行拍照并邮寄,自此
虽维修协议终止,但我司将提供终身免费答疑及技术指导。
专业从事仪器仪表检修9年,部分可提供服务的产品型号如下:
AT2140/AT2140A个人剂量计
POLIMASTER PM1621A个人剂量计辐射检测报警仪
AT1103M X射线辐射剂量率仪
AT1117M多功能便携式核辐射检测仪-授权代理
AT1123环境辐射检测仪脉冲辐射x,γ剂量测量仪-授权代理
AT1121防护级辐射剂量测量仪-授权代理
Polimaster PM1621个人辐射剂量报警仪
AT3509放射个人辐射剂量监测报警仪
AT2503个人核辐射剂量检测报警仪
COMO170便携式表面沾污仪
DEMRON辐射屏蔽防护服
MVCT继电器和CT/VT测试仪
MTO330直流电阻测试仪
DLRO600数字式微欧表
AT1320γ活度计-测水/食品/土壤等
OTS60PB/OTS80PB便携式绝缘油测试仪
FREJA300继电保护测试系统
PM1621M X,γ射线辐射个人剂量计检测仪-可寻找放射源
AT3509C个人辐射剂量计
S1-1068绝缘电阻测试仪-MEGGER S1-568独家代理
S1-1568绝缘电阻测试仪s1-568独代现货
ATKN中子辐射剂量率检测仪
AT6101C背包可移动式区域辐射检测系统-带核素识别
AT6103车载式区域辐射扫描测量系统
AT6101DR多功能地面放射性核素污染检测仪能谱仪
AT1120便携式高灵敏度多功能环境级γ辐射剂量率仪
AT6104DM水下能谱仪(核素识别仪)
OTS100AF实验室绝缘油耐压测试仪
OTS80AF实验室绝缘油耐压测试仪
Ariadna CI中压及低压电缆识别仪
FREJA 306继电器测试系统
MRCT继电器和电流互感器测试仪
SMRT410继电保护测试系统
SMRT33继保测试系统
OTS60SX/2半自动油测试仪
OTS60SX半自动油测试仪
MFT1700/1710/1720/1730系列多功能测试仪
MFT1800/1815/1825/1835/1845多功能测试仪
AT1320M伽马活度计
TORKEL900/910系列蓄电池放电试验系统
PM1703GNA-II中子个人辐射探测器
AT6104DM1水下能谱仪(核素识别仪)-500米测深
NuVISION便携式实时能谱分析伽马相机
PM1703GNA中子个人剂量检测仪
PM1621MA宽量程核辐射个人剂量检测仪-可寻找放射源
AT2533宽量程水下核辐射剂量测量仪
ICMmonitor 局放检测仪
HA3200-W水下X、γ辐射检测仪
FPCAE-GAMON-Diver水下核辐射探测系统
URSIS水下γ能谱测量系统
ReM-10水下γ能谱测量系统
PM1603A可穿戴腕式手表式伽马辐射个人剂量报警计
PM1603B腕表式电子个人伽马辐射剂量报警仪-可防水
RADCAM® Epsilon抗辐射耐辐照持续性核辐射环境监控摄相机
MWA300三相变比和直阻分析仪
CDAX605 高精度电容和损耗因数测试仪
TORKEL930蓄电池放电试验系统
SVERKER780继电保护测试仪总代
DLRO10HDX 双电源10欧姆表 微欧表
DLRO2X 2A低电阻欧姆表
DLRO2手持式 2A低电阻测试仪欧姆表微欧计
BVM、BVM300和VM600蓄电池电压监测器
TXL830/TXL850/TXL870 TORKEL 蓄电池测试额外负载设备
EGIL200/211/213/223/241/EGIL243断路器分析仪
CSU600A和CSU600AT电流供应设备大电流测试仪
K-JY04-C绝缘电阻测试仪
K-XDY36 电源电池
K-ZDY35 直流电源
K-JY04-C绝缘电阻测试仪
K-DZC033 单相变压器直流电阻测试仪
KGT R-9高能量电缆故障定位仪
K-NZ07Y 蓄电池电阻测试仪
KD-F31 大电流发生器
KJ-417 继电保护测试仪
KJ-C15 交流采样测试仪
CR-9 冷镜式露点仪
T-9 手持式回路电阻测试仪
K-152 绝缘电阻表
ALMAR实时剂量测量计
ALMAR+主动个人剂量计
ALMAR++主动个人混合辐射检测剂量计
FPS防火服避火服隔热服消防服
MEGGER TORKEL910蓄电池放电试验系统
MGFL100 电池接地故障定位仪
BITE5 蓄电池电池检测仪
SVERKER650 单相继电保护测试仪系统
OTS80PB便携式绝缘油测试仪
Test Universe 执行高级二次测试的 PC 软件套件
TransView 录波信号的显示与分析软件
UHF 800 便携式超高频局部放电测量与分析系统
VBX1适用于网络安全和测试应用的可视化平台
SVERKER750/650继电保护测试仪
UR-15 电缆宽频阻抗谱缺陷定位仪
HVDC 高压直流试验系统
MTO106直流电阻测试仪
BDKN-06 检测器及整套慢化球
MJ159/MJ160/MJ359/MJ459/MJ559绝缘电阻测试仪
PARADIMO 100 GIS和GIL高频局部放电在线监测系统
UMR-230 手持式大电流微欧计